半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水排放量大，廢水污染物種類多，成份復(fù)雜，通常都包括多種重金屬廢水和有機(jī)廢水，處理難度較大。

為了保證半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理效果，須按照污染物的不同將廢水分類收集，針對(duì)每一類廢水的主要污染物的特點(diǎn)，分別進(jìn)行處理，可達(dá)到理想的處理效果。同時(shí)，采用先進(jìn)的廢水回用處理技術(shù)，保證廢水回用處理系統(tǒng)的穩(wěn)定性和經(jīng)濟(jì)性。根據(jù)廢水的水質(zhì)特點(diǎn)，不同生產(chǎn)工序排出的廢水分別收集到不同的廢水貯槽(池)內(nèi)。并分別對(duì)各類廢水進(jìn)行預(yù)處理后再合并一起處理。

下圖是廢水的處理案例